二手 NOVELLUS CONCEPT One #9268776 待售

NOVELLUS CONCEPT One是半導體工業中獨特的創新反應器，用於蝕刻和沈積應用。NOVELLUS CONCEPT ONE利用射頻源創建的高頻等離子體，以及具有創新讀出設計的感應耦合線圈，創造出均勻、精確的材料蝕刻沈積。這種先進的功能允許更有效的蝕刻、沈積和清洗過程，以及更高的產量和更可靠的產品。概念一利用兩個感應耦合的獨立線圈，通過反饋回路連接在一起。這提供了高質量、均勻和可重復的蝕刻和沈積速率，從而導致更高的產量和更低的工藝產量。高沈積速率保證了蝕刻層和沈積層均勻，質量優良。兩個感應線圈各有一個單獨的陰極接口單元（CIU）。這樣可以靈活地獨立設置每個感應線圈設置,從而產生可調諧的蝕刻和沈積速率。此外,可以將CIU編程為為蝕刻過程提供用戶定義的設置,從而確保精度和可重復性。CONCEPT ONE的另一個獨特特點是其獲得專利的低溫降等離子體生產設備。傳統系統在沈積過程中往往會出現高溫下降，導致蝕刻均勻性問題，從而顯著降低產量。NOVELLUS CONCEPT One利用低溫下降機制大幅降低溫度下降，從而提高吞吐量和產量。除了改進的工藝外，NOVELLUS CONCEPT ONE還大大縮短了半導體制造作業的維護時間。該系統是有線的，是自我監控，使得它幾乎沒有維護。高級維護軟件允許工程師運行診斷程序,而無需進入設備的操作區域,從而減少了停機時間。總體而言，CONCEPT One是一種創新的反應堆，旨在提供最終的蝕刻、沈積和清潔工藝，最大限度地提高產量和工藝時間，同時將維護時間保持在最低限度。其先進的特性，如低溫等離子體生產和用戶定義的設置，使這臺機器成為半導體制造商的穩健可靠的選擇。