二手 NOVELLUS CONCEPT One #9288077 待售

NOVELLUS CONCEPT One反應堆是一種半導體加工工具，設計用於制造先進、高需求的微電子元件。該反應器的特點是能夠在均勻薄膜材料的沈積過程中，即使在大面積上也能提供一致、可重復的結果。這一設備提供了一個以前無法達到的精度和控制水平，以設備制造得益於一些創新的特點，如它的專利雙區域流動架構。雙區流動設計用於精確定義源材料和惰性氣體流動特性，從而可以更好地控制產生的薄膜和沈積速率。為了進一步完善沈積過程，NOVELLUS CONCEPT ONE配備了「壓力管理系統」，利用主動控制的超低壓腔室和集成的源材料淋浴頭。這些特點及其實時監測、監控、控制和調節薄膜沈積過程的能力，確保CONCEPT One能夠以極高的精度和可重復性處理材料。此外，CONCEPT ONE反應堆的設計滿足了廣泛的技術要求。該裝置配備了一系列原位診斷設備，如車載光譜儀和精密光發射光譜儀。這樣就可以對工藝數據進行現場反饋，並監測工藝參數，以提高薄膜沈積質量。現場診斷能力也延伸到以性能為重點的薄膜的開發，因為診斷可以用來優化各種來源材料的沈積參數。這使得工藝效率更高，因為優化的參數可以在未來的生產運行中使用，而無需任何額外的實驗。最後,NOVELLUS CONCEPT One具有強大的過程控制機器,能夠自動監控沈積過程。這為制造最具挑戰性和要求最高的電子設備提供了安全、一致、可重復和經濟高效的性能。綜上所述，NOVELLUS CONCEPT ONE反應器是一種先進、有效、高度精確的解決方案，用於在大面積區域內沈積具有卓越均勻性和均勻性的薄膜材料。