二手 NOVELLUS CONCEPT One #9299444 待售

NOVELLUS CONCEPT One是下一代高性能反應堆，旨在為先進的半導體制造提供先進的工藝能力。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆的設計提供了高的工藝產量和最佳的生產率，低熱預算，低粒子產生和均勻性。CONCEPT One反應堆采用了微機電結構（MEMS）技術的最新進展，采用了相當於傳統反應堆一半尺寸的中尺度容器，實現了前所未有的吞吐量和精確度。CONCEPT ONE反應堆配有集成的真空源和用於高級應用的二級處理室，允許廣泛的工藝能力。它能夠處理小批量和高通量控制的大晶片，以及提供電子束蒸發、化學氣相沈積和濺射沈積等多種沈積技術。為了滿足對高精度薄膜塗層的需求，NOVELLUS CONCEPT One反應器有一個獨立的、多區的工藝模塊，能夠實現最高的長寬比沈積。它能夠以納米級精度沈積和蝕刻薄膜，其氣體和電力流動系統可以很容易地配置，以適應特定的工藝要求。NOVELLUS CONCEPT ONE反應器的設計在過程測量中提供了極好的均勻性和精確度。它的先進測量能力包括使用先進的基於光學的監測設備，提供精度高達20納米的讀數。反應堆還設有先進的光學計量系統和集成傅立葉變換紅外光譜（FTIR）單元，提供完整的分析能力，可用於過程控制和診斷。CONCEPT One反應堆還配備了集成的環境管理機器，允許在多種環境下安全高效運行。反應堆的低熱低功率設計可以配置為滿足特定的環境要求，其集成的安全特性為工藝安全提供了優化的工具。CONCEPT ONE反應堆是一種先進的高性能反應堆，能夠為半導體制造市場提供前所未有的工藝能力。其集成的系統、先進的設計功能和卓越的分析能力使其成為實現最佳產量和生產力的理想工具。憑借其尖端技術，NOVELLUS CONCEPT One反應堆註定將徹底改變這個行業。