二手 NOVELLUS CONCEPT One #9300350 待售

NOVELLUS CONCEPT One是為半導體和其他微電子制造應用而設計的反應堆。它是一種沈積和蝕刻產品線,旨在為要求苛刻的過程提供無與倫比的精度、生產率和靈活性,如晶圓缺陷（表面缺陷）還原、Poly-Si柵極形成以及銅互連形成和隔離。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆分為三個區域：上部裝卸室、加工室和集成前端。上部裝卸室可與其余設備隔離，便於維護、進出和維修。該工藝室包括螺旋渦輪泵和低流量裝飾閥，允許在不通風的情況下完成多個處理步驟。集成前端有一個高真空門閥門，以及一個原位沈積監控器，用於創建一個受控的環境。CONCEPT One反應堆包含稱為「CappCycle」的專有技術，這是一種先進的高頻、高功率數字化靜電卡盤（ESC）驅動系統。該技術用於降低氣體負荷，提高等離子體穩定性。其他特性包括獨立的He電源、自動晶圓級壓力控制單元、數字離子源諧波控制以及高可靠性的周期末鎖定機。CONCEPT ONE反應器被設計為在廣泛的工藝條件下提供卓越的沈積均勻性和工藝產量。此外，反應堆的設計目的是提供非常低的熱預算，從而減少熱損害並改進工藝控制。此外,專有的CappCycle技術使等離子體能夠持續運行,從而提高了過程的可重復性並降低了耗材成本。最後，NOVELLUS CONCEPT One反應器是一種獨特的沈積和蝕刻工具，為先進的微電子和其他半導體應用提供業界領先的精度、生產力和靈活性。其先進的工具和技術（如CappCycle）提供了卓越的統一性、可重復性和熱預算,同時將成本降至最低。