二手 NOVELLUS CONCEPT One #9364375 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在提高半導體晶圓廠工藝的產量和吞吐量。反應堆采用獨特的低壓氣相沈積工藝，利用各種形式的化合物在半導體晶片上形成保護性和反應性SiO2層。該設備的主要特點包括雙區、單級反應室、軟啟動閥系統、可編程脈沖閥和脈沖氣體噴射單元，使其能夠提供一致、高質量的化學和物理結果。反應室由兩個不同的區域組成，由一系列擋板隔開，以控制過程流動。第一個區域由化學化合物註入反應室的區域組成，第二個區域是化合物反應沈積到晶片上的區域。這使用戶可以更好地控制沈積過程中的反應條件，提高加工效率，縮短工藝時間，提高反應堆的收率。軟啟動閥機提供了過程壓力的逐漸增加，允許在處理過程中有更大的靈活性，從而提高了刀具的效果。它還可以防止潛在的過程流量變化，因為反應堆內的壓力不會突然上升。可編程脈沖閥設計用於非常精確及時地註入化學物質，以準確控制腔室內的反應條件，從而提高晶圓厚度均勻性。脈沖閥結合脈沖氣體註入資產，使用戶能夠精確計時氣體和化學品的輸送，讓他們能夠輕松調整加工條件，以優化設備性能。NOVELLUS CONCEPT ONE的設計使用戶能夠同時執行低批量和大批量生產運行,同時提供一致的性能和可靠性。反應堆能夠處理各種晶圓尺寸，以及晶圓幾何形狀的差異，使用戶能夠靈活地生產不同尺寸和形狀的設備。總體而言，CONCEPT One是一種高度通用和可靠的CVD反應堆，用於制造晶圓，為用戶提供更高的效率、更短的工藝時間和更好的產量。