二手 NOVELLUS CONCEPT One #9377870 待售

NOVELLUS CONCEPT One Reactor是用於集成電路制造的薄膜電子沈積的革命性工具。它采用旋轉、熱和化學工藝的組合，以高速率精確沈積薄膜，從而提高生產率，增強均勻性，改善膜性能。反應堆的設計目的是使薄膜沈積在各種材料上，包括用於半導體制造和化學氣相沈積的材料。NOVELLUS CONCEPT ONE Reactor的旋轉盤具有一個圓柱形，水平取向的中心，直徑可達6英寸。藍寶石盤安裝在旋轉中心，允許精確的薄膜沈積。反應堆包括一個熱源，無論是電阻系統還是感應系統，以在整個熱沈積範圍內保持精確的溫度。散熱系統可以是幹燥的，也可以是濕的，可以通過精確的加熱或冷卻來調節。另外，二次熱源可用於實現更高的均勻性和更高的沈積速率。反應堆還包括一個化學源，它可能是一個單獨的化學源或同時利用熱源和化學源的組合源。化學來源包括一個化學輸送系統，允許精確控制化學存在，並允許化學混合物輸送到底物的所有區域。此外，CONCEPT One Reactor還提供了許多增強薄膜沈積的功能。根據底物和所需的膜，反應器可以配置為化學和熱沈積，或兩者的組合。此外，反應堆提供自動化、準確的校準和診斷，以確保精確的沈積結果。CONCEPT ONE Reactor是現代、高速沈積薄膜材料的絕佳工具。它提供精確的溫度和化學控制，使各種基材能夠以提高均勻性和提高生產率的方式進行加工。