二手 NOVELLUS Inova NExT #9236710 待售

NOVELLUS Inova NExT（Next Generation Extrusion）是一種革命性的先進沈積反應器，旨在提供超精確的薄膜厚度控制，提高工藝均勻性和均勻的沈積速率，同時還提供可重復材料的行為和高容量的制造要求。該系統利用源處的介電捕獲和先進的反應性和惰性氣體流動控制，將納米級材料精確噴灑到極均勻的基板上。NExT采用高頻、低功率射頻信號（13.56 MHz），采用具有集成氣體輸送和底層基板夾緊裝置的雙腔室配置，使反應性氣體能夠在進入腔室時被激發。由此產生的反應產生高能等離子體，利用滯留在介電材料中的幹電荷困在反應堆的中心堆芯，並均勻地分布在整個空腔中。材料在基板上的沈積是完全均勻、可復制和可控的。NExT反應堆的射頻發生器可以以峰值或連續模式部署，以盡可能高的吞吐量提供所需的薄膜厚度和均勻性。該系統采用軟件控制，對介電捕獲、反應性氣流、基板夾緊裝置等參數提供實時反饋。利用這些數據，可以創建和精確優化配方，以提供微粒生成和高沈積速率的超薄膜沈積。NExT非常適合各種材料應用。這些包括高k電介質、多層電容器（MLC）、低k電介質、屏障和SLIM®電容器。由於生產就緒的內存堆叠拓撲結構現在已接近32層,因此此系統提供了在單個模具中實現前所未有的性能和集成級別的可能性。Inova NExT為設備制造商和最終用戶提供了顯著的優勢。其獨特的功能,加上滿足設備結構完整性、電源性能和擴展/分層生產要求的能力,創造了一種能夠降低擁有成本並為產品增值的解決方案。