二手 NOVELLUS Inova NExT #9281285 待售

NOVELLUS Inova NExT是一種多室化學氣相沈積（CVD）反應器，專門設計用於生產具有先進材料和工藝的高密度結構。這款先進設備為下一代半導體芯片和高性能電子應用提供了無與倫比的產能。Inova NExT CVD反應堆由幾個獨立控制的腔室組成，具有模塊化結構。該設計允許按順序或同時運行多個CVD進程。這樣可以在研發應用程序中實現最大的過程靈活性和效率,並且可以生產高級設備結構以實現最大的產量優化。NOVELLUS INOVA NExT CVD反應堆利用先進的浸入式、超薄晶圓載體,在加工過程中對基板的熱失真最小。先進的晶圓載體設計結合了其基板的擺出卸載。此外,先進的設計使制造商能夠在每個腔室創建精確的溫度控制功能,從而提高工藝精度和可控性。Inova NExT CVD反應堆設有高性能水平和垂直插槽，允許材料沈積到基板兩側。這樣可以在基板上實現更大的材料均勻性,直接導致缺陷密度降低,設備和結構質量更高。此外，數字的垂直方向為先進的材料沈積提供了優勢，包括增強了深溝應用的間隙填充。配備了先進的控制系統和超響應傳感器，NOVELLUS Inova NExT CVD反應堆提供了最高水平的工藝性能。精密的控制單元提供了每個腔室內獨特的流量控制和溫度設置精度，提高了吞吐量和性能水平。Inova NExT CVD反應堆提供了工藝半導體開發和生產的最新進展。這臺先進的機器為高性能半導體應用提供了極致的可重復性精度、可控性、吞吐量和成本效益。此外,該工具還提供卓越的環境性能,在清潔環境中完全符合操作和安全要求。