二手 NOVELLUS Inova NExT #9283648 待售

NOVELLUS Inova NExT是一種最先進的先進晶圓加工設備,專為高產量和低擁有成本而設計。它具有創新的環形腔室設計，能夠實現高性能沈積過程，同時降低系統的總擁有成本。它非常適合需要高通量和/或多種沈積過程組合的應用,或具有大於標準尺寸的晶圓的應用。Inova NExT由許多先進部件組成，包括NEXt-Gen環形反應堆，一種具有專利環形間隙的高溫沈積工具。這種設計允許通過廣泛的工藝參數和溫度對基板進行均勻加熱和沈積材料。該工具還具有優化的薄膜均勻性和比標準工具更高的沈積率能力。NOVELLUS Inova NExT還具有先進的溫度控制單元和基板冷卻機，能夠在工藝室內保持均勻的溫度分布，並提供晶圓與沈積區之間的有效傳熱。這樣就可以在流程的每個步驟進行質量控制,從而確保統一的結果。該工具還提供集成數據管理、遠程訪問和高級流程控制套件等高級自動化功能。NEXt-Gen環形反應堆利用氮-氮混合物作為載體氣體，提供安全、惰性的氣氛，幫助工具實現高性能、精確的沈積過程。該設計還使資產能夠輕松地進行擴展,以實現更大的工藝種類和更大的產量。除了NEXt-Gen環形反應堆之外，Inova NExT還包括一個可調蝕刻工具。該工具使用了獲得專利的射頻信號和統一的工藝配方，以確保精確蝕刻，而不需要任何手工調整蝕刻參數。這允許高精度蝕刻過程，並降低晶圓損壞的風險。NOVELLUS Inova NExT是滿足當今晶圓處理需求的理想技術,可提供可靠的性能、更高的吞吐量和節省成本。它非常適合多種應用，包括高級封裝、介電沈積、3D器件生產、微加工等等。