二手 NOVELLUS Inova NExT #9313086 待售
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NOVELLUS Inova NExT是用於制造集成電路（IC）的半導體加工反應堆。它是由高精度晶圓傳輸模塊和處理室組成的先進多晶圓處理系統。晶圓傳輸模塊有助於晶圓在處理室和晶圓緩沖區存儲以及其相關的處理工具之間移動。處理室與一個或多個關聯的處理工具配合使用,以實現多個晶片的並行處理。Inova NExT使用兩種截然不同的工藝氣體來沈積和蝕刻薄膜並進行平版印刷圖樣。兩種氣體分別是用於沈積薄膜層的三氟化氮（NF3）和用於蝕刻層的六氟化硫（SF6）。板載質量吞吐量（MT）系統控制和監測這些加工氣體的輸送。輸送控制采用氣體分子「分數共享」的專有方法進行管理，這種方法允許氣體在超精細水平的多個流動方向上快速擴散。NOVELLUS Inova NExT的高級功能還包括多氣體模塊，它同時提供NF3和SF6氣體控制的組合，以及一個特殊的控制模塊，允許用戶同時混合和控制多個過程氣體的輸送。此外,這種超精密的工藝室提供了先進的溫度和均勻性處理,可確保薄膜層的完整性及其所需的電性能。除工藝技術外，Inova NExT包括一套專有軟件工具，用於編程和控制工藝室的操作條件。這包括遠程監測、控制和調整所有氣流的功能,以及數據記錄、數據歸檔、配方管理、環境管理和流程控制。總體而言，NOVELLUS Inova NExT為晶圓處理提供了一個穩健且高度精確的平臺，允許開發復雜、高性能的集成電路。其先進的工藝技術和軟件工具確保了復雜集成電路的可靠制造，並具有可重復和可預測的性能。
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