二手 NOVELLUS Inova XT #293757055 待售
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ID: 293757055
晶圓大小: 12"
PVD System, 12"
Mainframe
EFEM
(6) Chambers
(4) AC Racks
(14) RF Racks
Power rack.
NOVELLUS Inova XT反應器是一種先進的沈積工具，設計用於提供先進的氮化物沈積過程以及經典的CVD操作。這種設備結合了高生產率、精確的均勻性和同時運行的能力以及擴展的過程靈活性。該系統以經過驗證的沈積技術為基礎,具有先進的氮化物沈積特性.Inova XT反應器專為需要先進沈積工藝包括使用氮化物材料的先進矽基半導體器件的制造商而設計。該設備具有高吞吐量和精確的均勻性,可確保連續和高質量的過程,同時防止沈積變化和其他經常導致產品變質的機器退化。NOVELLUS Inova XT反應堆配有四個獨立的工藝模塊，稱為「段」，設計用於創建被稱為「循環」的高效快速工藝循環。這些段允許在整個過程周期內同時運行,這有助於減少給定過程所需的總沈積時間。這允許工具用於周期較短的大型生產卷。Inova XT資產是一個數量眾多的腔室反應堆，其特點是後置加載、中央定位的單晶片裝載機/卸載機（SAW）模型，一次可處理多達200個晶片。設備的雙支柱移位器設計消除了與晶圓傳輸延遲相關的模塊停機。該系統有一個自動氣體控制單元，最多有八個流量通道，為實現預期的工藝結果提供更大的靈活性。該機器能夠在高達750°C的高溫下產生一致的工藝結果。現有各種工藝氣體輸送系統，以滿足各種材料工藝要求。此外，NOVELLUS Inova XT反應器設計具有先進的晶圓清洗能力，包括晶圓除渣功能和晶圓清洗功能。該工具還具有內置的薄膜厚度監視器，以確保在整個晶片上可重復的均勻性。這有助於在每個循環點維護和記錄沈積過程。Inova XT反應堆還附帶一個增強型工藝監控器（EPM），用於在RT或預處理和後處理條件下進一步優化工藝產量。總體而言，NOVELLUS Inova XT反應器是一種先進的沈積工具，旨在提供各種先進的氮化物沈積工藝。該模型配備了四個獨立的工藝模塊、高溫處理範圍和自動氣體控制資產，為先進的矽基半導體器件的沈積提供了靈活可靠的解決方案。設備的特點使其成為許多生產應用的首選。
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