二手 NOVELLUS Inova XT #293818927 待售

NOVELLUS Inova XT是一種先進的晶圓反應器，旨在提供最高水平的蝕刻性能，同時保持最佳的工藝可重復性。具體而言，Inova XT是一種單晶片等離子體反應器，能夠以極高的精度沈積和蝕刻材料，在生產周期中提供設備幾何形狀的最高精度制造。NOVELLUS Inova XT利用高度先進和集成的系統來減少流程變化。該反應器包括兩個獨立的模塊：等離子體源和高分辨率工藝室。等離子體源模塊使用中央安裝的ECR（電子回旋共振）源，高效生成等離子體以沈積和蝕刻材料。InnovusTM濾波器將源的頻率設置在一定範圍內,以減少等離子體產生的幹擾和不均勻性。這確保了所產生的等離子體具有更加統一、可預測和可靠的性質，從而確保了高度可重復的制造過程。Inova XT還包含一個先進的工藝室，利用精確射頻傳遞和獨立晶圓位置控制的組合來精確沈積和蝕刻材料。腔室使用一系列電極或ECR源將射頻能量精確引導到晶圓。這種精確的射頻傳送與先進的過程控制軟件相結合，以確保在蝕刻和沈積過程中的最高精度。此外，每個工藝室都有自己獨立控制的晶片級，允許對每個單獨的晶片進行優化的工藝任務調度。NOVELLUS Inova XT還具有先進的安全協議，以確保操作員的安全。該系統配有傳感器和排氣系統，用於監測等離子體密度、過程壓力、溫度等過程。如果這些參數中的任何一個超過允許的最大限制,系統將自動關閉,從而有助於一流的過程控制和可靠性。為了提供最高水平的過程重復性和安全性，Inova XT附帶了精密過程控制軟件和射頻輸送系統、先進的等離子源過濾器、改進的傳熱輻射和先進的安全系統等多種升級選項。NOVELLUS Inova XT是制造商使用要求苛刻的材料和高精度要求的理想解決方案。