二手 NOVELLUS Inova XT #9354273 待售

NOVELLUS Inova XT是一種半導體晶圓處理反應器，提供一流的過程控制和自動化。它旨在滿足業界對高性能平臺的需求,該平臺能夠通過改進的平面化、過程控制和可重復性提供生產性晶圓處理。Inova XT具有高頻驅動器電源,可加快處理速度。其深層反應性離子蝕刻（DRIE）技術可實現更高的長寬比和更高的步高,並可用於制造各種光電、微電子和MEMS器件的復雜輪廓的微結構。反應堆配備了多種配件，如高功率射頻發電機、溫度控制器、精確pH指示器、自動托盤和瓶裝系統以及機械臂。機械臂協助遠程裝卸晶片進出反應堆，有助於最大限度地減少交叉汙染。NOVELLUS Inova XT設計用於集成到一個工業環境中,其中包含多個模塊和腔室,可確保並維護其清潔度和安全性。它配備了先進的流程控制系統,可確保流程的一致、安全和可重復執行,同時用戶友好的控制系統可最大限度地減少維護和操作所需的工作人員時間。該反應器還被設計為在氧化物、氮化物和多晶矽層的沈積和蝕刻方面高效。其多室、晶圓級的可編程環境使得高質量層的沈積和蝕刻具有氮化物、氧化物、多晶矽和多層組合。Inova XT平臺提供低成本、低維護、過程兼容和可重復的系統以及集成的機械臂,可實現高效自動化。該反應堆的設計能夠以可擴展和模塊化的方式產生出色的表面平面化、高工藝重復性和卓越的生產率。它提供了卓越的晶圓吞吐量,同時消除了傳統的手動操作和維護。