二手 NOVELLUS Inova XT #9375328 待售

NOVELLUS Inova XT Reactor是一種下一代光刻工具，旨在使半導體微設備的制造成為可能。Inova XT是一種高度自動化的計算機控制設備,能夠以快速、高效和可靠的方式執行高級蝕刻過程。該設備旨在提供各種流程,以滿足特定的設備和流程要求。該系統由供應模塊、加載模塊、射頻發生器和固化爐組成。供應模塊容納了反應性離子蝕刻所需的工藝氣體、酸和清潔溶液。加載模塊會自動將基板加載和卸載到靜電卡盤上,從而實現基板格式的快速更改。射頻發生器利用微波頻率提供反應性離子蝕刻和激活多種工藝化學物質。固化爐用於固化和幹燥光致抗蝕劑及加工化學物質。NOVELLUS Inova XT使用對蝕刻工藝的精確控制來提供卓越的工藝效率。該裝置有廣泛的蝕刻工藝，從濕蝕刻到幹蝕刻工藝，並支持各種化學和反應。支持氧氣、氫氣、氙氣、ICP、ECR、CMP、石英蝕刻、氟蝕刻等工藝。機器可以量身定制，以滿足個別基材和工藝的需要。此外，Inova XT內置了波紋管隔離、腔室風扇動力學、最小化接觸基板載荷、氣體安全板和反饋過程等安全功能。自動監視器還跟蹤流程運行並提供詳細的流程分析。為了確保高產量和可重復性,NOVELLUS Inova XT采用了許多高級功能。它結合了傳感器接口模塊、自動校準、微控制器和集成接口。這一集成工具使反應堆能夠快速調整以適應蝕刻過程中的變化，並提供了一個有效的工具來優化跨越一系列基板的工藝條件。總體而言，Inova XT反應堆是一個高度精密、高效和安全的蝕刻反應堆，能夠提供精確和可控的蝕刻工藝。NOVELLUS Inova XT的自動化和反饋機制允許快速和可重復的蝕刻過程,集成的資產可確保高收益和可重復性。