二手 NOVELLUS Inova #100556 待售

NOVELLUS Inova，是一種用於半導體制造業的先進化學氣相沈積（CVD）反應器。它的特點是具有卓越的能力，能夠生產高性能納米設備和存儲芯片等具有一致和均勻厚度的優越的纖維層材料。該機器采用創新設計，內置濺射能力，有助於進一步優化沈積工藝，消除先進半導體器件所需的膜厚度、層均勻性和精度的任何程度的變化。伊諾瓦反應堆采用兩區設計，以適應兩個工藝溫度。第一個區域用於在引入CVD工藝之前預熱基板，而第二個區域則是主要的CVD加工區。僅利用兩個供暖區有助於節約熱能、提高效率和降低運營成本。隨著基板從第一層轉移到第二層，溫度變化最小化，有助於避免熱沖擊和材料表面損壞。該反應堆還具有一個獲得專利的主動溫度控制系統（ATCS），它在整個基板表面提供卓越的熱均勻性。此外，ATCS由於對CVD工藝中使用的各種氣體，包括氧氣、沈積氣體、鹵素氣體和其他精選氣體進行了先進的實時監測和控制，因此提供了卓越的工藝控制。利用這一功能,用戶可以輕松地對流程配方進行即時編程,從而確保流程穩定性,並最大程度地減少流程中氣體的難以運輸。除了優越的設計外，NOVELLUS Inova還配備了全方位的後工藝清洗工具，如熱處理、離子蝕刻、快速熱退火等。這允許用戶在一次高效的操作中快速完成整個過程，從清潔到沈積。這有助於減少或消除對額外勞動力和資源的需求。總之，伊諾娃是專門為半導體加工業設計的先進化學氣相沈積（CVD）反應器。它通過兩區設計、主動溫度控制系統和全方位的後工藝清洗工具,使制造商能夠在高效的過程中取得卓越的效果。因此，對於尋求高效、可靠、過濾和工藝均勻性更好的沈積工具的制造商來說，這是理想的選擇。