二手 NOVELLUS Inova #293589650 待售

NOVELLUS Inova是一種等離子體蝕刻反應器，用於半導體器件制造。它利用射頻（RF）從氣體的混合物中產生等離子體，將底物暴露於等離子體，然後利用等離子體蝕刻底物。反應堆由具有多個射頻電源的四室設計組成。可以為不同類型的蝕刻過程配置各個腔室。反應堆的主室是放置底物進行加工的地方。這個腔室連接到一個氣源，通常是一條氣體供應線，包含各種氣體的混合物。氣體的混合，壓力和溫度在這個腔室可以控制，以優化蝕刻過程。在這個腔室中產生的等離子體受到磁場的限制和維持，可以調整等離子體的形狀。反應堆的第二室由兩個獨立控制的射頻電源組成。電源可以在頻率和振幅上進行調節，以調節等離子體。該電源可用於制造和維持大型、均勻的等離子體。反應堆的第三室由兩個「火花塞電極」組成，用於在主室和電源之間產生強電場。這個電場可以用來塑造和操縱主腔內的等離子體。最後，反應堆的第四室由一個真空系統組成，用來維持主室內部的壓力。它在蝕刻完成後從主室抽取氣體，消除了意外接觸有害物質的風險。總體而言，Inova是一種先進、可靠的等離子體蝕刻反應器，可用於多種蝕刻工藝。它的各個腔室可以配置用於不同的蝕刻過程，其動力源可以用來產生和操縱大的、均勻的等離子體。此外，它的真空系統保證危險物質永遠不會暴露在反應堆之外。