二手 NOVELLUS Inova #9188671 待售

NOVELLUS Inova是一種模塊化原子層沈積（ALD）反應器，設計用於AR/VR/MR顯示器、消費電子、光通信和醫療光學等精密光學塗層應用。Inova提供了生產先進光學系統所需的無與倫比的精確度、可重復性和控制（低至0.01微米）。NOVELLUS Inova操作有兩個獨立的工藝區，並使用加熱線性運動傳輸（LMT）機制進行優越的基板處理。該設計允許在兩個過程區域同時處理基板而不會中斷。專業的工藝工程確保了節能和材料的最佳利用，同時還提供了優越的電氣隔離。Inova采用優化的操作軟件,方便用戶輕松直觀地體驗。NOVELLUS Inova包括觸摸屏顯示屏和定制設計的GUI,用於必要的過程監控和精確控制。系統參數、沈積過程（每個到0.01微米）、配方和設置都可以定制，以滿足個別用戶的要求。Inova結合了廣泛的Advanced Precision Technologies（APT），例如AIRESite System，它可以實現可靠的無缺陷的多層薄膜和塗層，高和超薄膜的低功率共沈積，以及反應性元素沈積（包括ALD）。它還為壓力、溫度、氣流、等離子體、光線等提供了可調的工藝控制設置，從而實現了工藝優化。NOVELLUS Inova采用密封，以降低汙染風險，確保最佳塗層精度。它還包括一個強大的散射模塊（或目標輻照模塊），能夠在更大範圍的漸逝和高滲透光學元件上進行高質量塗層。Inova專為易於安裝而設計,可根據各種實驗室和生產環境進行定制。可選的沈積室附件包括一個封閉的樣品升降機、可旋轉的船和真空供應單元，所有這些都能夠在實驗室環境中方便地安裝、配置和使用。此外,NOVELLUS Inova支持NOVELLUS Service Toolkit,這是一套功能強大的工程和支持工具,使用戶能夠有效地監視、調試和維護系統。而且，在需要時，NOVELLUS專家可以通過遠程診斷來分析和優化流程。對於那些尋求先進、安全和經濟高效的精密光學膠片生產解決方案的人來說，伊諾娃是理想的解決方案。