二手 NOVELLUS Inova #9188675 待售

NOVELLUS Inova是一個反應室，旨在處理各種高溫操作，例如在底物上沈積薄膜和熱處理膜。它包括了高效基板加工的所有必要特性，如真空完整性、均勻的溫度分布、顆粒清潔能力和高通量。Inova設計用於在惰性大氣中處理最高溫度額定為1100 °C的高達4英寸的晶圓基板。它具有強大的低真空感應加熱系統，能夠實現快速加熱速率，而不會因熱失控而受到汙染。此外,堅固的直線加熱速率控制機構提供了良好的溫度均勻性整個腔室.NOVELLUS Inova的顆粒清潔能力通過多個真空清洗部件的組合，包括渦輪泵和機械旋轉泵，以及幾個過濾器的組合來確保。室內有效的組合傳感器進一步增強了顆粒清潔能力。Inova以其快速的周期時間和較小的占地面積提供了卓越的吞吐量。高度精細的操作軟件允許用戶對任何操作序列和參數進行編程，使得大量組件的制造成為一項簡單的任務。除了易於操作和可靠的性能外,NOVELLUS Inova還具有多種安全功能,例如用於安全和高效能源管理的雙壁真空室結構、氣體冷卻系統、故障安全保護機制和熱保護元件。Inova是一個用途廣泛且可靠的反應室，具有廣泛的應用。它是材料加工的寶貴工具，為在要求苛刻的熱過程中操縱基板提供了一個強大的解決方案。