二手 NOVELLUS Inova #9204137 待售

NOVELLUS Inova是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，由金屬加熱室、精密氣體控制設備和旋轉反應器源三個堆芯組件組成。金屬加熱室是一種半圓柱形的不銹鋼結構，分為兩個隔間：下部一個用於基板加熱，上部一個用於氣動渦輪泵送系統。加熱室的下部隔室由帶電子卡盤電極的穿孔柵格組成，其作用類似於控制和調節基板加熱溫度的平臺。上艙設有氣動和渦輪泵送系統，為化學氣相沈積提供了受控環境。Inova反應堆中的精確氣體控制單元提供了沈積過程中過程氣體的高精度控制。它可以直接控制底物周圍的氣體分布，有助於優化膜的形成速率和均勻性。氣體控制機包括質量流量控制器、安全關閉閥、壓力傳感器、計量流量閥和微泡流量探測器。要塗覆的底物尺寸和形狀可以編程成NOVELLUS Inova反應堆。旋轉反應堆源在基板上執行軌道模式運動，從而確保所需薄膜的均勻覆蓋。此外，每種沈積氣體的壓力、流量和溫度都可以單獨控制，從而可以沈積高度復雜的薄膜。總體而言,Inova是一款可靠且精確的CVD設備。其組分組合和精密控制沈積工藝參數的能力使其成為先進薄膜制造的理想選擇。它被廣泛的應用，包括半導體、顯示器、微電子學和光學。該設備的可擴展性和靈活性也使其具有足夠的用途，可用於研發目的。