二手 NOVELLUS Inova #9272601 待售

NOVELLUS Inova是一個革命性的等離子體增強型化學氣相沈積反應器，旨在最大限度地提高吞吐量，降低應用成本，如薄膜光電子、薄膜晶體管（TFT）等用於半導體行業的先進材料的沈積。Inova等離子體源是一種專利技術，利用簡單可靠的設計產生高能、非熱等離子體，可以調整到廣泛的等離子體參數和熱預算要求。這座反應堆獨特的設計還提供了可自定義的粒子加速度，可以與射頻或直流電源一起運行。NOVELLUS Inova等離子體源可以在壓力高達6 mTorr、溫度高達700 C的情況下操作，以產生密度、厚度和均勻性要求最低的器件。反應堆還包括一些額外的特性，如變頻和溫度斜坡系統，對等離子體環境提供額外的控制。Inova幾乎可以與任何氣體化學一起使用，包括那些預先結合用於特定應用的氣體化學。另外，二元和三元氣體化學也可用於精確控制期望的效果和結果。這使得NOVELLUS Inova能夠在精度和準確性至關重要的應用中使用。獨特的Inova設計還包括一個自清潔功能，它允許化學沈積物在幾分鐘內從源塊中清除。這樣可以確保區塊不受汙染物汙染，並使整個過程保持清潔和不受汙染。此外，NOVELLUS Inova還配備了多種功能和功能，可用於將系統配置定制到特定的操作和應用程序。例如,定期更新軟件以確保添加所有新功能,並確保在要求最苛刻的應用程序中獲得最佳性能。綜上所述，Inova是一種革命性的等離子體增強型化學氣相沈積反應器，為半導體應用提供了卓越的靈活性、準確性和精確度。獨特的設計提供了多種變頻、溫度傾斜和自清潔功能,可用於根據任何特定應用定制系統。最後，該反應堆可靠高效的設計確保了整個過程的清潔和無汙染，使其成為一系列半導體應用的理想選擇。