二手 NOVELLUS Inova #9284588 待售

NOVELLUS Inova是一種用於大批量生產集成電路的工具。它是一種基於等離子體的多晶片、高精度物理氣相沈積（PVD）工具，能夠為晶片制造提供先進的沈積能力。設備配備了淋浴頭和源-高升力處理能力，旨在實現沈積均勻性提高、厚度控制出色、高通量性能的先進產品沈積。該系統由一個裝有幾個部件的中央主體組成，包括淋浴頭、低k薄膜沈積發動機、低k背面下降發動機、高提升源、工藝室和洗滌器。淋浴臺包括一個混合室，有一個入口和幾個排氣口。它還具有可調氣體擴散板和可調噴嘴，以確保最佳的過程控制。低k膜沈積引擎與高提升源協同工作，提供優越的膜沈積能力。其多區控制技術保證了各種低k薄膜的精密沈積，達到了高導電性、機械穩定性、無針孔或薄膜缺陷等理想性能。低k後側下降引擎與淋浴頭配合工作，以沈積低k後側下降。這確保了設備的高效隔離,並實現了高級光刻。高提升源負責執行預制造和後制造過程。它配備了幾個先進的特點，包括工藝註入單元和均勻調整機。高升力源以高速模式運行，保證高通量性能。該工具的工藝室配備了多個源和一個等離子體火炬，以實現高沈積速率。洗滌器與工藝室協同工作，以清除化學汙染物，確保資產符合環境和健康標準。Inova是晶片制造的理想選擇，能夠沈積具有優異性能的低k薄膜。一次處理多個晶片的能力增加了吞吐量，並且不需要頻繁的設備轉換。這會降低停機時間並提高生產效率。此外,該模型提供了卓越的精度和可靠性,使其成為大批量生產環境的理想選擇。