二手 NOVELLUS Inova #9383177 待售
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NOVELLUS Inova是半導體行業的高生產率過程反應堆，將突破性的低溫處理與快速循環時間和高均勻性相結合。其獨特的專利功能提供了一個通用的平臺,能夠可靠地處理從高級節點到sub-5 nm的所有技術。Inova反應堆能力由原位過程診斷、自適應控制和先進材料瞄準提供動力。其集成射頻阻抗匹配（RFI）系統在sCMOS晶圓箱內提供了更大的過程控制,同時還為更改過程要求提供了最大的靈活性。反應堆還被設計用來支撐廣泛的底物，包括先進的晶片如FinFET和3D結構。NOVELLUS Inova反應堆在高達400°C的溫度下運行，壓力範圍為200-600 mTorr，為蝕刻、沈積和退火功能提供了令人印象深刻的工藝靈活性。該反應堆采用了一種專有的氣流動力學（VFD）技術，能夠改進沈積的一致性和利用復雜的新沈積化學。Inova反應堆還擁有創新的NOVELLUS Inova脈動技術，可減少循環時間，同時促進更好的均勻性和減少排便。這項技術在一秒鐘內產生一個短而精確的脈沖陣列，從而可以進行可靠的薄膜應用過程。采用優化的氣體動力學分布，保證了材料沈積的均勻性。伊諾娃的卓越性能是通過其精密的溫度和壓力管理系統實現的。其高端處理軟件被設計為提供有關晶圓工藝指數（PI）的實時和預測反饋，這是半導體工藝的關鍵參數。用戶可以使用PI來確定精確的蝕刻速率、沈積速率或晶圓溫度。為了進一步提高工藝效果,NOVELLUS Inova提供了許多優化功能,如均勻性和晶圓定位。加上一系列附加的軟件工具,確保始終可以獲得最高質量的結果。總體而言，Inova是一種高度先進的過程反應堆，其設計旨在最大限度地提高生產率和效率，同時提供最佳的產量、均勻性和排泄性。它具有自動化的工藝功能和創新的特性,是任何半導體工藝的理想選擇。
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