二手 NOVELLUS Inova #9384622 待售

NOVELLUS Inova是一種沈積反應器，旨在方便用於半導體應用的高質量薄膜沈積。伊諾娃結合了高長寬比、高精度和優越的通量控制，以最高效的方式生產出質量最高的薄膜。反應堆采用雙室配置設計，允許用戶沈積薄至5 nm的薄膜。NOVELLUS Inova有一種專有的靜電卡盤，防止粒子和碎片在沈積過程中積聚。這降低了汙染的風險，提高了晶圓上的均勻性。伊諾娃還采用了獨特的第二室設計。這樣可以在不同的溫度和壓力水平下進行精確的通量控制，從而在整個晶片上創造出優越的均勻性，並提高沈積膜的性能。反應堆還采用基於等離子體的沈積技術進行設計，從而能夠精確控制沈積速率並提高薄膜性能的可靠性。NOVELLUS Inova可用於多種不同的沈積過程，包括熱化學氣相沈積（TCVD）、原子層沈積（ALD）和物理氣相沈積（PVD）。此外，Inova還具有許多其他功能，使其成為功能強大且用途廣泛的沈積工具。其先進的控制軟件允許對過程變量進行精確和可重復的控制。NOVELLUS Inova還具有可調波紋管系統，在整個晶圓上產生均勻的沈積速率和均勻性。反應堆還有一個精密的光學監測系統，不斷檢查沈積膜的完整性。總體而言，伊諾娃是一個先進的沈積反應堆，提供優越的性能和產量。其雙腔室設計提供可靠一致的沈積，可調波紋管系統確保均勻性和準確性。NOVELLUS Inova是全球半導體行業信賴的強大工具，提供高質量的薄膜沈積。