二手 NOVELLUS Inova #9390623 待售

NOVELLUS Inova反應堆是最新的先進反應堆平臺，旨在實現超細粒度薄膜的沈積。它采用了一種獨特的集成閉環過程控制設備,該設備由NOVELLUS ALETA軟件提供支持,可以精確控制整個沈積過程。這一尖端系統使用戶能夠精確定義包括沈積速率、面積均勻性和薄膜應力在內的薄膜參數，以優化基板性能。伊諾瓦反應堆利用冷陰極火炬產生反應性離子等離子體，連同高頻射頻源傳遞均勻的電離氣體，以及先進的高性能電子沖擊源創造離子自由流動。與單獨的靜電過程相比，集成磁體持有者使用戶能夠產生更一致和可重復的過程。集成活性氣體輸送裝置能夠精確控制氣體的流動和組成，從而提高膜的均勻性和可重復性。NOVELLUS Inova反應器還具有獨特的壓力控制模塊,可提高溫度穩定性和均勻性,從而提高薄膜質量。除了先進的工藝控制能力外，伊諾娃反應堆還采用了幾種創新的安全協議。利用集成的防爆傳感器，用戶可以免受室內爆炸氣氛的影響。自動關閉機器可防止高壓火花對腔室造成潛在損害。增強的腔室保護功能包括改進的熱流管理和電源控制,提供更高的熱穩定性和冷卻能力。NOVELLUS Inova反應堆是一個先進的平臺，旨在滿足最苛刻的沈積工藝的需求。通過提供先進的工藝控制、改進的安全協議和最佳的熱穩定性，伊諾娃反應堆使用戶比以往的反應堆平臺取得了更好的效果。有了NOVELLUS Inova反應堆，用戶可以在更短的工藝時間、更高的吞吐量和更好的薄膜質量上達到他們期望的效果。