二手 NOVELLUS Inova #9390633 待售

NOVELLUS Inova是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，一種主要用於半導體制造過程的設備。它提供卓越的工藝均勻性、出色的熱穩定性和較小幾何形狀的高吞吐量。它是專為能夠處理日益復雜的納米級集成電路設計而設計的。伊諾瓦反應堆波束由晶圓安裝板、射頻火炬、火炬天線和氣流歧管組成。晶片安裝板有助於將晶片安裝到反應堆室，幫助提供電力連接和必要的氣體。射頻火炬加熱晶片，為沈積過程創建等離子體，並將氣體流動歧管中的反應物氣體註入腔室。火炬天線發射高頻無線電波，為沈積過程啟動和維持等離子體場。氣流歧管從源頭收集反應氣體，並將其轉移到反應室中。NOVELLUS Inova獨特的設計允許高沈積速率和出色的工藝均勻性。較高的沈積速率和改進的均勻性僅僅意味著可以用較少的工藝步驟和較高的生產率來生產高質量的設備。采用等離子體密度控制和等離子體脈沖調頻這兩種主要的突破性沈積形式，Inova能夠在較高的工藝溫度下沈積質量較高的薄膜。它還結合了高端電子產品，包括分布式過程控制技術，使晶片的處理速度更快，精度更高。此外，它的閉環控制器使得實時校準和控制沈積過程成為可能，進一步確保CVD產生的所有層都能準確形成，並且該過程保持一致。NOVELLUS Inova反應堆系統具有多項優勢，例如產品質量的提高和周期時間的縮短，使其成為設備制造商有吸引力的解決方案。Inova是一個高效可靠的處理系統，一直在幫助為明天的半導體產業鋪平道路。