二手 NOVELLUS Inova #9399582 待售

NOVELLUS Inova是為半導體材料沈積和蝕刻而設計的反應堆。它基於電感耦合等離子體（ICP）技術，利用高頻功率產生等離子體。該反應堆為包括蝕刻、降序和屏障金屬工藝在內的各種應用提供了出色的工藝一致性。Inova采用獨特的硬件和軟件功能,以確保一致的過程一致性和高度的可變性。NOVELLUS Inova的硬件包括一個圓柱形的大功率ICP驅動電感，能夠產生高頻弧，同時還利用高壓產生等離子體。Inova還利用線性射頻發電機，重點控制等離子體密度，同時在蝕刻回過程中提供均勻性。此外，NOVELLUS Inova還包括一個「等離子體鼓」，這是一個創新的裝置，由石墨材料和嵌入的電極構成，在被加工的基板的整個表面形成均勻的等離子體。這有助於最小化源級別的不均勻性,並防止充電。此外，等離子體鼓允許在等離子體發生器和虛擬電極之間優化間距，從而確保高離子能和產生更好的工藝結果。在軟件方面，Inova利用幾個功能進一步增強了統一性。這些特性旨在通過監測基板表面和調整等離子體能量輸出來優化過程控制，以達到預期的效果。此外，NOVELLUS Inova還利用Endura和Kinetic Sputter Index傳感技術精確測量局部蝕刻參數。通過實時和離線過程控制的組合,Inova能夠在所有應用程序中實現亞微米精度和可重復性。最後，NOVELLUS Inova是一個基於ICP技術的強大反應堆，在各種應用中提供了卓越的工藝一致性。憑借獨特的硬件和軟件功能,Inova提供了無與倫比的精確度、準確性、可重復性和可變性,可用於蝕刻、降序和屏障金屬工藝。