二手 NOVELLUS Sabre 3D #9179871 待售
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單擊可縮放
ID: 9179871
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Electro chemical deposition (ECD), 12"
Single module
Configuration:
(1) PVC-4910 (SABRE 3D Single module)
(1) KB & Athena remote
(1) Additional (Third) FOUP - 300 mm
(1) RFID Reader (3) FOUP
(1) OHV CA Head-On transmission
(1) LT Front & rear (4) colors
(1) Aligner
(1) (2) APT Duets (4910)
(1) Chemical ADM (TSV Only)
(1) EBR 4910, (2) Duets
(1) TSV Copper
(1) 8 x 0 Config 1 Ba
(1) TF10000 With heater
(4) 300 mm, 1.00 EE, 0.40 mm Cont
(4) Copper TSV process package
(4) Degasser
(1) SABRE 3D Single, 2 APT, 2 EBR/SRD
(4) Cell specific flow meters
(1) NSR 17, NSR 1087310 Pneumatic flow switch
(1) NSR 18, Tool ladder 71-299012-00
(4) 9.5A, 750W Serial
(1) NSR 1, 845-154096-001 Trough vent, ver C
(1) NSR 2, 845-211454-001,KIT,SBR-3D,Bath R
(1) NSR 3, SW CESPTC53073A, Plate, leveling F
(1) NSR 4, Blue900109 BE Robot 8 cell
(1) NSR 5,CESPTC52432A Factory int ionizer
(1) NSR 6, 845-175917-001 8c Video monitor
(4) NSR 7, SW 856-155785-001 Kit UPGRD, TR 4
(1) NSR 8, 845-192680-001 KIT,SBR-3D,1087310
(1) NSR 9, Blue900137, Aligner, vortex,300 mm
(1) NSR 10, SW, 02-414924-02, ASSY,Drip pan,P
(1) NSR 11, SW, 02-443139-02, ASSY,Drip pan
(1) NSR 12, SW, 27-403019-00, Pump DI water
(1) NSR 13, SW, 857-170700-101, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 14, SW, 857-170700-102, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 15, SW, 856-200391-001, KIT,UPGRD,AI
(1) NSR 16, SW, 856-200391-002, KIT,UPGRD,AI
Currently installed
2015 vintage.
NOVELLUS Sabre 3D是一個革命性的半導體加工反應器，結合了兩個關鍵技術--化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）。它旨在方便制造半導體制造中所用材料的纖薄層。這種設備在沈積過程中提供了無與倫比的精確度和控制,大大縮短了周期時間和其他可能影響產量的過程成本。Sabre 3D通過使用CVD和ALD的組合進行沈積和蝕刻操作,提供了一個快速、可靠和可重復的過程。它利用由氧氣和其他各種惰性氣體組成的高功率氣源，創造出「單色」和「超凈」環境。這允許使用沒有表面缺陷或汙染的薄膜,從而對沈積過程進行特殊控制。NOVELLUS Sabre 3D反應堆由三個基本模塊組成--一個等離子體發生器、一個腔室和一個電源。等離子體發生器是一個微波單元，產生熱源的，非熱等離子體。這負責分子活化和薄膜沈積在底物上。腔室是一個真空密封的外殼，容納系統的等離子體和反應堆部分。它旨在保持一個一致、幹凈的環境以維持一個可重復的過程。電源單元提供正確的電流來點燃和維持等離子體。佩刀3 D反應堆具有廣泛的溫度範圍（從90°C到500 °C），允許它用於多個過程。它還具有先進的自動化和控制功能，包括用於現場過程監測的高精度集成光學單元。這有助於快速識別流程問題,並為流程改進提供快速反饋。最後,NOVELLUS Sabre 3D反應器具有與任何工藝控制機器的簡單連接.這樣可以進行數據收集、分析和過程優化,以獲得最大的正常運行時間和產量。Sabre3D反應器高效、經濟高效,具有可靠、可重復的沈積特性.它是高容量、高質量半導體制造的理想解決方案。
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