二手 NOVELLUS Sabre Next #293704428 待售
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NOVELLUS Sabre NeXT是由NOVELLUS Systems, Inc.開發的超低壓化學氣相沈積（CVD）反應堆。該設備采用先進技術,用於薄膜在基板上的先進沈積.Sabre NeXT具有高級多源功能,一次最多可使用八個源。這樣就可以精確地將多層沈積到基板上，在大型基板上具有極好的均勻性。這一過程是通過一個獨特的氣體分配系統實現的，該系統精確地控制輸送到腔室的氣體的數量和方向。NOVELLUS Sabre NeXT具有非常低的壓力機制，可以減少原料的凝結損失並提高沈積速率。這也保證了在微粒汙染最小的情況下生產均勻且無缺陷的薄膜。SabreNeXT反應器由預室和主沈積室兩個主室組成。預室是為沈積前體的溶劑汽化和熱解而設計的，而主要的沈積室是為薄膜沈積過程。預室是溶劑汽化沈積前體熱解發生的地方，主室是薄膜最終沈積的地方。此外，NOVELLUS Sabre NeXT反應堆具有先進的溫度監測和控制能力，在整個沈積過程中確保精確的底物溫度。它還有一個均勻的凈化裝置，用於快速、精確地控制沈積室的凈化。高級軟件允許輕松修改工藝參數和配方，通過直觀的圖形用戶界面快速調整沈積配方。SabreNeXT是一臺功能強大、可靠的CVD機器,為精確控制薄膜的沈積提供了先進的性能和領先的技術。提供優異的薄膜均勻性、出色的晶片內均勻性和晶片對晶片的均勻性，以及優越的整體缺陷控制。適合大批量制造，NOVELLUS佩刀NeXT反應堆是各種研發、工業應用的理想選擇。
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