二手 NOVELLUS Sabre Next #9281286 待售

NOVELLUS Sabre Next是一種下一代原子層沈積（ALD）反應器，用於在多種底物上沈積一層或多層的纖薄保形膜。這是利用脈沖氣源將物質輸送到反應堆室，在那裏它們與底物發生反應，導致納米級薄膜沈積。沈積過程具有很高的可重復性，使得可以精確控制厚度、覆蓋範圍和組成的薄膜的產生。Sabre Next反應堆將ALD技術與先進的計算機系統和高效的工程相結合，打造出一個提供出色的薄膜性能和可重復性的平臺。它包括直觀的用戶界面控制和自動化的物料處理，以減少操作員的幹預和增加吞吐量。反應堆的殼體由幾個部分組成，包括一個主室、多個氣源的氣體輸送設備和一個基板支架。反應堆還包括加熱系統、冷卻單元、真空機和排氣工具。NOVELLUS Sabre Next反應堆利用專利的脈沖氣體輸送資產精確控制沈積。這個模型由一系列磁性成分組成，產生一個場，使反應物脈沖以特定的、可預測的模式傳播。這導致了一個均勻的膜沈積，允許一個精確和可重現的組成。Sabre Next還包括自動化的物料處理設備、實時過程監控、多區域設置點以及卓越的容錯功能,這些功能可降低過程錯誤的風險並實現統計過程控制。此外,還可以根據不同的應用程序要求輕松擴展該過程。總體而言，NOVELLUS Sabre Next是下一代先進的ALD反應堆，提供一個或多個納米級薄膜的可重復、高質量的沈積。適用於多種基材和應用，包括先進的薄膜電子、光學、金屬的化學氣相沈積。