二手 NOVELLUS Sabre Next #9384191 待售

NOVELLUS Sabre Next是一種下一代高性能PECVD反應堆，專門設計用於滿足提高設備性能和特性的需求。它是NOVELLUS系列PECVD工具中的最新產品,旨在優化高級內存、邏輯和RF應用程序中的流程。Sabre Next反應堆提供了許多功能,旨在提高設備的吞吐量和產量。例如，它利用兩個行業領先的工藝室對沈積過程中一些最重要的參數提供精確控制，包括腔室壓力、沈積速率和一級均勻性。這使得工藝可以根據每個設備的需要量身定制，並在晶圓之間提供高度的工藝一致性。NOVELLUS Sabre Next也允許對氣流、壓力、溫度等工藝參數進行精確調整。這是由一個泵控氣體輸送系統促進的，該系統確保了一致和穩定的氣體流動，同時保持精確的壓力和溫度穩定性。這使流程能夠針對單個設備應用程序輕松調整和優化。此外，Sabre Next集成的糾錯和數據跟蹤機制讓用戶能夠快速高效地診斷和排除問題。這是通過一系列可以提供系統性能實時診斷的反饋控制算法來實現的。此外,用戶還可以通過直觀的圖形用戶界面（GUI）使用這些機制,該界面提供有關流程參數和結果的概覽信息。總體而言,NOVELLUS Sabre Next配備了多種功能,旨在最大限度地提高設備性能和產量。其可自定義的流程室和糾錯/數據跟蹤機制對制造流程的重要方面提供了高度控制,而直觀的GUI使用戶可以輕松監控和優化流程。Sabre Next是希望在高級內存、邏輯和RF應用程序中提高設備性能和功能的組織的理想工具。