二手 NOVELLUS Sabre XT #293610632 待售
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單擊可縮放
NOVELLUS Sabre XT是一種先進的蝕刻反應堆，為制造商提供了高精度創建復雜圖樣的動力。NOVELLUS SABREXT裝備了三級離子轟擊以實現最大控制，並具有模塊化結構。它能夠生產特征尺寸從一微米到35納米的結構。Sabre XT的工具包旨在幫助制造商實現更高的精度,並輕松執行各種復雜的蝕刻過程。離子轟擊的第一階段使用三場步進設備，瞄準所需的底物區域。通過允許對要蝕刻的區域進行特定的選擇以及精確實現特征大小和形式,此系統為SABREXT的用戶提供了更大的控制,使他們能夠創建復雜的模式,並一次又一次地獲得更準確的結果。第二階段的離子轟擊蝕刻深處的材料，創造寬度在350納米和1微米之間的特征。此過程允許制造商滿足大批量生產的標準,同時仍能達到所需的特征精度。離子轟擊的最後階段由銅蝕刻組成，可以產生寬度小於35納米的特征。銅蝕刻提供了更高分辨率的圖樣,縮短了完成時間。NOVELLUS Sabre XT還配備了自動化工作站和完整的軟件，使用戶可以自動監控、分析和優化他們的流程，以獲得最大的產量和生產力。其先進的「Robustication」控制單元進一步確保了可靠的性能和可重復的結果，即使在蝕刻具有不同光掩模的多層時也是如此。總體而言，NOVELLUS SABREXT是一個先進的蝕刻反應堆，它提供復雜模式的精確蝕刻和最小的人工幹預。通過其離子轟擊、先進工作站和「機械」控制機三個階段，制造商可以在大批量生產中實現高分辨率模式。
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