二手 NOVELLUS Sabre XT #293713734 待售
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
NOVELLUS Sabre XT是一個反應堆，由一個感應耦合等離子體（ICP）源、一個反應室和可調節氣體進料組成，以精確控制過程環境。ICP源利用射頻能量產生多個等離子體羽狀過程氣體，以均勻分布的方式從源向外擴散。等離子體的來源是高度可調的，允許它被量身定制以滿足不同等離子體過程的要求。反應室能夠快速準確地調節氣體和壓力，從而對工藝環境進行精確控制。該反應器非常適合許多過程，如CVD、PECVD和等離子體蝕刻。NOVELLUS SABREXT是一個靈活高效的反應堆。它能夠承受很寬的溫度範圍，允許它用於需要較大溫度範圍的過程。另外，使用可調射頻進給可以精確控制等離子體的能量密度。這使得各種材料的薄層（如氧化矽和氮化矽）沈積到基板上的工藝成為可能。這一特性還允許更高效的等離子體蝕刻和清潔基板。佩刀XT反應堆還配備了多種安全功能，以保護用戶和設備。它設計用於在非常嚴格的溫度和壓力範圍內運行,並且在發生工藝錯誤或故障時可以快速關閉。此外，它還配備了氣流傳感器，可以對工藝環境進行快速、準確的調整。這確保了任何潛在的有害氣體在可能造成任何傷害之前都能迅速從腔室中除去。總體而言，SABREXT反應堆是許多基於等離子體的過程中高效可靠的反應堆。它的可調射頻進給允許精確控制等離子體的能量密度，其安全特性提供額外的安心。多種材料和工藝選擇使得反應器成為半導體制造的理想選擇。此外，快速調整工藝環境的能力確保該工藝保持安全，並確保危險氣體的任何潛在羽流迅速從腔室中清除。
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