二手 NOVELLUS Sabre XT #9104570 待售

Lam Research Corporation設計制造的NOVELLUS Sabre XT是下一代原子層沈積（ALD）反應堆。NOVELLUS SABREXT是晶圓製造的一個革命性概念，允許將薄膜塗層沈積在極精確且均勻的層中。ALD用於半導體和高端光學等高精度行業，Sabre XT針對這些目的進行了優化。SABREXT的核心架構以等離子增強ALD （PEALD）設計為基礎，使其能夠在當今先進的制造環境中應對獨特的挑戰。反應堆配備了多步溫度控制、高沈積速率、化學前體輸送等一系列工藝能力。它還可以處理熱和紫外線退火、旋轉塗層、溶劑退火等標準工藝需求。NOVELLUS Sabre XT旨在提供準確和可重復的沈積結果。其精密控制的等離子體源在500至5,000瓦之間，其分布式溫度控制系統使得晶圓之間的溫度能夠精確的均勻。此外，它的高精度噴嘴能夠精確控制化學前體的輸送。說到底線，NOVELLUS SABREXT還提供大幅縮短的工藝周期時間和減少廢品，在質量上毫不妥協。其靈活的設計和較高的處理速度允許縮短產品上市時間。其先進的工藝控制系統可提高產量和降低材料成本,其自動化監控系統可減少制造過程中的人工幹預。總而言之，Sabre XT ALD反應堆擁有一整套先進的特性和功能，為半導體和光學行業提供了顯著的優勢。它提供的精確度和準確性與當今市場上沒有的其他ALD系統一樣,能夠縮短產品上市時間和減少廢品,而不會影響質量。