二手 NOVELLUS Sabre XT #9146195 待售

NOVELLUS Sabre XT是一種單晶圓、多反應堆設備，設計用於滿足超大型器件制造行業日益加劇的需求。借助IGBT、MOSFET、GaN或其他設備,NOVELLUS SABREXT能夠在各種晶圓尺寸上提供最佳性能,包括最新3DIC先進的封裝。Sabre XT擁有獲得專利的多反應堆設計，允許在單一工具中進行多次沈積、蝕刻和植入過程。創新的反應堆設計允許晶片並行加工而不會交叉汙染，同時操作多個加工工具。除了在單個晶片上提供更高的吞吐量外，SABREXT還可以在單個配方內處理多個晶片。這種混合制造方式允許批量生產具有單晶圓性能的靈活性。NOVELLUS Sabre XT有一個先進的多區域真空系統，允許在腔室的所有區域有一個受控的環境，包括溫度和壓力控制。此功能旨在優化處理速率,並具有多個真空區域,以減少汙染並最大限度地減少抽水作業所需的時間。NOVELLUS SABREXT還配備了先進的監控系統，包括監控過程各個方面包括氣壓、晶圓溫度、腔室壓力等等的軟件工具。監測可以對反應堆在處理之前和過程中的狀況進行快速和準確的評估。最後,Sabre XT旨在為高級沈積級別（包括HDP、CVD、ALD、PECVD等）提供理想的平臺。SABREXT以其多反應堆配置，能夠處理最苛刻的沈積需求，始終如一地提供卓越的均勻性和可重復性。總之，NOVELLUS Sabre XT是為了滿足超大型設備制造業的需求而設計的。NOVELLUS SABREXT憑借其專利的多反應堆設計、先進的多區真空裝置和先進的監控系統，能夠為廣泛的應用提供全面的解決方案。對於那些需要高性能、多反應堆沈積機的制造商來說，Sabre XT是理想的解決方案。