二手 NOVELLUS Sabre XT #9183435 待售

NOVELLUS Sabre XT Reactor是一種強健、高性能的化學氣相沈積（CVD）應用反應堆。它非常適合先進的晶圓制造，包括增強的器件幾何形狀和苛刻的金屬沈積要求。NOVELLUS SABREXT Reactor是具有電子回旋共振（ECR）等離子體源技術的高生產力雙區熱壁CVD系統。這項技術產生了非常均勻的等離子體分布，以確保均勻的層和先進的摻雜物輪廓獨立於底物尺寸。Sabre XT反應堆保證了快速的增長速度，並實現了快速的工藝設置時間。SABREXT反應堆是為滿足最苛刻的工藝要求而設計的，它是為特殊的工藝控制和可重復性而設計的。它擁有先進的過程控制技術,如雙區域壓力控制、基於配方的轉向和光譜現場表征,從而實現了最準確、最高效的過程控制。NOVELLUS Sabre XT反應堆提供卓越的晶圓均勻性,具有先進的器件尺寸耐受性,並通過使工藝優化超出常規反應堆設計的範圍而獲得卓越的氧化物質量。它提供了對層厚度、平滑度和組成均勻性的卓越控制,而不會影響吞吐量。此外,NOVELLUS SABREXT還提供了具有先進集成射頻源的靈活雙端點摻雜,以及高度可靠的快速熱和光學晶圓溫度測量和嚴格控制。所有這些特性使得Sabre XT反應器非常適合大容量制造最先進的應用，如磁性隨機存取存儲器（MRAM）、動態隨機存取存儲器（DRAM）和非易失性存儲器（NVM）。因此，由於SABREXT反應堆的尖端特性，它是高產、高質量CVD工藝的理想選擇。NOVELLUS Sabre XT具有卓越的工藝可重復性,提高了晶圓加工的均勻性和準確性,使NOVELLUS Sabre XT成為具有挑戰性的原型設計項目的高可靠性和經濟效益的解決方案。