二手 NOVELLUS Sabre XT #9275235 待售
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單擊可縮放
ID: 9275235
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Electro copper plating system, 8"
Ergo Cassette Loader (ECL)
ART7 Robot
Clamshell cup: POR
PPS Chuck
Hard Disk Drive (HDD) missing
Integrated frame:
(3) Plating modules
3-Phase anode chamber
(3) SRD Modules
Anneal:
(5) Anneal chambers
Temperature: 50°C - 400°C
Forming gas: H2
BROOKS AUTOMATION 4-Axis atmospheric dual-end effector robot
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Accutran robot
CUP: Pentium
SECS/GEM: Comparability
System controller
Tool generation: SABRE-XT
(25) Wafers per cassette
Graphic User Interface (GUI)
Signal tower: (3) Colors
Host connection type: RS232 C
Mini-environment: Synetics
Desktop PC
Central Bath Reservoir: 150 liters for (3) Plating modules
Exhaust kit: Top mount
Cassette handler module:
(3) Load port stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
End effector
Wafer release with puff
Magstore 1.7.0 Robot firmware
Mapping type: Through beam
Plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Clamshell: Drive unit, 8"
Clamshell cup: 1 A Ceramic Cup
Clamshell cone: 196 mm Phase
Clamshell cylinder: Pressure vacuum cylinder
Anode Type: 3-Phase
Clamshell lift
Additive dosing: NowPack
Bath chemistry: Control algorithm
AE Pulse plating power supply
Post plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Edge bead removal
Wafer present sensor mount
Bath module:
(2) Florite totalizer
(3) Dosing pumps
Recirculation pump: Inverter
NESLAB HX-75 A Heat exchanger
2001 vintage.
NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT反應器是一種精密控制的化學氣相沈積（CVD）設備,使客戶能夠在大量材料上進行高產準確的薄膜沈積。該系統是專門為優化半導體制造領域的薄膜沈積而設計的。NOVELLUS SABREXT反應堆提供了許多好處，如擁有成本低、生產率提高、設計靈活性出色以及工藝結果的一致性。該裝置具有高度控制的高度精確度，並提供一整套帶有單室和雙室系統的工藝選項。Sabre XT反應堆的CVD工藝集成了預熱、冷卻、智能傳感等多項功能。預熱對於在沈積進行之前正確設置基板溫度很重要。冷卻功能有助於確保基板在沈積後迅速恢復到所需溫度。對過程的智能感應使機器能夠準確地檢測、識別和控制氣流，從而確保薄膜的精確和均勻沈積。該反應器具有獨特的濾室設計，有助於最大限度地減少顆粒引入工藝室。交叉室還有助於防止冷凝在抽油煙機中的工藝氣體凝結。該工具采用多步驟工藝，針對多種基板的高吞吐量進行了優化。SABREXT資產也有一個先進的等離子體源兼容多種氣體處理技術。新型等離子體源支持超高純度源氣體、高節氣流量、高源排氣壓力。這樣可以實現更高的沈積速率、更高的功率密度和更低的有效溫度。最後,NOVELLUS® NOVELLUS Sabre XT反應器是一種現代化和先進的CVD模型,有助於在半導體制造領域取得更高的產量和一致的結果。設備擁有成本低,生產率更高,設計能力靈活。還配備了預熱、冷卻、智能傳感等先進功能。濾室設計和專用等離子體源使NOVELLUS SABREXT成為可靠的CVD工藝的完整封裝。
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