二手 NOVELLUS Sabre #9105124 待售

NOVELLUS佩刀反應堆是一種化學氣相沈積（CVD）反應堆，設計用於半導體制造過程。它是一個專門設計的CVD反應器，能夠將厚度低至單埃（0.1 nm）的薄膜沈積到半導體晶片上。反應器用於沈積難以沈積過渡金屬、聚合物或其他介電材料等材料。佩刀反應堆由幾個組分組成，構成了完整的沈積系統。主要成分包括上腔、工藝室和下腔。該系統是一個垂直、低壓的CVD反應堆，采用分批處理的方法，可以沈積多層，所有這些層都受到嚴格控制，以獲得其獨特的薄膜厚度所需的精確參數。它能夠處理多達8「和12」晶片。上腔配有加熱石英敏感器籠，在沈積過程中為晶片提供均勻加熱，確保整個過程保持精確的化學計量。加熱的感光器籠也被用於蒸發源材料，其汽化和isSource材料汽化促進源材料的升華或熱分解，然後沈積在基板上。加熱的接收器籠連接到比例積分導數（PID）控制器，這有助於確保加熱器溫度的最佳均勻性。這取決於具體的沈積工藝要求而增加或減少。該工藝室裝有惰性氣體混合物，用於容納在CVD工藝過程中沈積在晶片上的化學物質。一個噴嘴位於真空室的中心，用於將前體和反應物引入腔內。沈積區與擴散泵相連接，可以精確流動和操縱成功沈積過程所需的氣體。下腔用於排出反應產物，也連接到擴散泵上，用於在沈積過程中保持精確的化學計量。它還有助於將任何剩余的反應物從腔室的環境中撤離。NOVELLUS Sabre是一種高精度的CVD反應器，旨在以極薄的薄膜方便材料沈積。它能夠產生所需的層，並具有準確和可靠的結果，這使得它成為半導體制造過程中的寶貴工具，從而能夠創造出卓越的半導體產品。