二手 NOVELLUS Sabre #9285084 待售

NOVELLUS Sabre是一種最先進的高性能反應堆，設計用於先進的蝕刻和沈積應用。憑借創新的工藝設計、先進的材料和智能自動化,它能夠提供卓越的工藝一致性、可重復性、產量和生產率。該設備以氫氣和氙氣為基礎的感應耦合等離子體（ICP）源為基礎，該源提供了均質且不受約束的等離子體源，最大生產吞吐量。ICP源與動態配置的原位等離子體反射計（ISPR）結合使用，可獲得準確和瞬時的等離子體讀數，從而能夠對蝕刻和沈積過程進行準確的實時監測和反饋。Sabre的創新工藝設計還允許最多六個工藝模塊同時編入反應堆，每個模塊都有自己的一套參數。這使得使用一臺機器優化多個流程步驟成為可能,而不是在單個流程室內使用多個流程系統。NOVELLUS Sabre還具有靈活的腔室架構，使其能夠針對廣泛的蝕刻和沈積應用進行定制。多功能腔室設計采用了不同的數值孔徑光學器件、波導載流子和工藝百葉窗，實現了高沈積速率和低粒子生成。該系統還設有模塊化的過程控制單元，使用戶無需任何重大的工具檢修即可輕松修改和升級反應堆機器。此外,用戶還可以利用其高級診斷套件和預測性維護資產,深入了解模型性能並最大限度地提高正常運行時間。最後,Sabre的高級自動化功能使用戶能夠對可重復的過程進行編程,以實現高容量吞吐量。通過利用復雜的算法,設備可以設計和優化每個工藝配方,以提高產量和生產吞吐量,同時降低成本和能耗。總而言之，NOVELLUS Sabre是一個先進的反應堆系統，可以量身定制以滿足任何蝕刻和沈積應用的需要。憑借其高性能等離子體源、工藝靈活性和自動化特性，Sabre真正是一個最先進的單元，非常適合高容量、高產量的生產應用。