二手 NOVELLUS Sabre #9299039 待售

NOVELLUS Sabre是一種高性能、精密的反應器，旨在將薄膜材料沈積在基板上。該反應器用於微芯片制造中的薄膜沈積工藝，通常稱為「金屬沈積」。Sabre是一種先進的分子束外延（MBE）工具，使制造商能夠實現對過程中沈積材料的精確控制。NOVELLUS Sabre的設計基於線性二甲基毯子分子束外延反應堆（LDB-MBE）。這種突破性的設備不需要入口窗口，導致更高的產量和更少的顆粒汙染。此外，采用雙室系統設計可確保更高的穩定性和更高的沈積速率。佩劍是由兩個主室構成的：下部加工室（LPC）和上部加工室（UPC）。LPC中包含了槍罐、crucibles和沈積源材料。槍托又稱電子回旋共振微波頻源，產生高能原子束，定向到基板表面進行沈積過程。Crucibles made from refactory alloy and hold the liquid source in them.UPC由加熱/冷卻屏蔽（H/C屏蔽）、基板支架和排氣管組成。H/C屏蔽用於保持沈積過程中基板的溫度控制。基板支架具有同時容納多個晶片的能力，並自動將其平整以進行均勻塗層。排氣管增加了額外的控制，防止碎屑和廢氣進入沈積區。NOVELLUS Sabre反應堆還具有石英沈積帶和熔石壓力控制，提供了薄膜沈積的均勻性，創造了可重現的結果。為了最大程度地提高安全性，設立了一個完全惰性氣體裝置，其作用是減少沈積過程中有害氣體的存在，如臭氧或氫氧化物。佩刀反應堆是先進微芯片制造工藝的理想工具。最新的技術與精密工程技術相結合，使制造商能夠獲得可重現的效果以及高質量、均勻的沈積膜。有了這臺多功能機器,制造商就可以從提高生產的準確性、安全性和效率中獲益。