二手 NOVELLUS Sabre #9299776 待售

NOVELLUS Sabre是專門為半導體加工而設計的反應堆。用於薄膜材料在復雜集成電路和微機電系統（MEMS）中的沈積。Sabre是一種批處理類型的過程，意味著用戶可以在給定的時間處理大量的基材，這使其比傳統的批處理類型的機器有很大的優勢。它是一個封閉的系統，具有全自動氣體分配和控制模塊。NOVELLUS Sabre采用高速、多槍、自動選擇沈積工藝。這一過程使得多層薄膜材料，如絕緣體、金屬和有機材料能夠沈積在基板上。佩刀提供了對沈積過程的精確控制，使其成為復雜過程的理想選擇。反應堆具有兩個截然不同的過程室，包括一個高臨時室和一個低臨時室。高溫室允許薄膜沈積和化學氣相沈積過程所需的極端溫度。低溫室溫度較低，可用於溶膠-凝膠和自旋過程。反應堆還設有自動晶片加載系統，確保晶片精確均勻地加載到基板支架上。加熱晶片支架能夠在整個沈積過程中精確保持溫度，從而確保晶片性能的最佳。整個過程可以通過獨特的NOVELLUS軟件包進行監控，確保每次都有準確的結果。NOVELLUS Sabre具有獨特的雙噴嘴設計，能夠實現兩個平行沈積過程，可以並行使用。這種技術確保沈積材料符合適當沈積的所有要求。此外，反應堆還配備了高溫積液源，可用於保形塗層和材料沈積等復雜過程。總之，佩刀是一個強大、高效、高度可靠的反應堆，能夠生產復雜、功能強大的集成裝置。它滿足了現代半導體加工的所有要求，並提供精確的控制和監控。因此，這種反應堆是任何半導體制造設施的寶貴工具。