二手 NOVELLUS Speed #9262058 待售

NOVELLUS Speed是由NOVELLUS Systems, Inc開發的先進反應堆技術。它是一個高性能反應堆，旨在在先進的半導體制造業中實現更快、更具成本效益的工藝和生產。這座反應堆采用先進的地形方法，以高效的方式處理晶片，以提高整體吞吐量。反應堆由一系列工藝室組成，旨在為當今最復雜的制造工藝提供更高的吞吐量。這包括化學機械平面化（CMP）、半導體薄膜沈積、噴嘴基蝕刻、等離子體蝕刻和晶片清洗等工藝。Speed的核心是地形均勻晶圓運動（TUWM）晶圓傳輸技術。這項技術利用精確的限制系統與自動運動跟蹤相結合，使晶圓保持在腔內。這樣可以確保沈積過程中的陣列形狀一致。此外，TUWM晶圓傳輸技術最大限度地減少了均勻性指數內的波動，減少了對腔室清潔的需要，並減少了潛在的顆粒汙染。NOVELLUS Speed Reactor還利用自由基等離子體源（RPS）產生針對各種工藝要求優化的等離子體。這就產生了強大、高效的等離子體，以實現高分辨率的過程。RPS還結合了可調諧功率控制能力，使反應堆能夠調諧到腔室內的過程。先進的Speed反應堆還利用先進的溫度控制來確保腔室內的一致性。這樣可以確保工藝室在整個處理周期中提供一致的結果。這些組件的組合使NOVELLUS Speed Reactor能夠以更低的成本提供更快的吞吐量和更高的產品產量。總體而言,Speed是一項革命性的先進制造技術,旨在提高制造吞吐量。該反應堆依靠先進技術的結合應用，如地形均勻晶圓運動、自由基等離子體源和最優溫度控制，提供一致、高質量的制造工藝。因此,這項技術為半導體制造行業提供了更快、更高效和更具成本效益的生產。