二手 NOVELLUS Speed #9262827 待售

NOVELLUS Speed是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，為高生產率和薄膜質量而設計。它是一種先進的沈積設備，利用多種CVD氣體同時產生比手動系統更薄、更密集、更一致的沈積層。這種革命性的反應堆先進的設計和能力，允許高層沈積速率，高通量和優越的晶圓均勻性。速度由脈沖等離子體功率和輸送系統提供動力。這個單元能夠產生從低到高的廣泛的等離子體氣體功率和壓力。這樣可以確保沈積得到精確控制，並產生質量最高的層。集成等離子體源發生器利用脈沖頻率和占空比，確保正確的功率和壓力傳遞到反應堆腔室，以實現所期望的過程結果。NOVELLUS Speed的ED石墨磁控管濺射（GMS）可實現額外的沈積技術,包括反應性濺射、多層和濕蝕。GMS能夠產生更高密度的層，增加沈積速率和提高沈積均勻性，同時減少材料浪費。與傳統的磁控管濺射系統相比，GMS提供了高達十倍的電離效率。Speed還配備了先進的工藝監測機，能夠準確測量工藝參數，能夠快速、輕松地檢測異常工藝狀況。該工具實時跟蹤每個反應堆腔室的沈積速率、薄膜厚度、汙染程度以及許多其他參數。NOVELLUS Speed使用Ebonite微波技術，確保從晶圓到晶圓的氣體流動和沈積均勻。該技術利用先進的微波發生器探針，在射頻室內產生均勻的微波等離子體場，從而使沈積更均勻，並獲得更高質量、更厚的薄膜。這種微波等離子體還具有為先進的設備結構和設計輕松地對薄膜層進行圖案化的能力。Speed標配了許多自動化功能,例如自動執行標準配方的氣體混合資產、跟蹤配方更改的在線配方修改模型,以及持續測試排氣系統泄漏的實時泄漏檢測設備。NOVELLUS Speed還提供了先進的自我清潔功能，能夠確保卓越的室內清潔。由於其先進的設計、高效的電源和輸送系統、統一的微波等離子體場以及自動化的安全和過程監控系統,速度提供了卓越的沈積性能。NOVELLUS Speed非常適合低成本、高產量的沈積，是推進先進制造工藝的真正領導者。