二手 NOVELLUS Speed #9272639 待售

NOVELLUS Speed是專門為半導體器件制造而設計的高速化學氣相沈積（CVD）反應器。其創新的設計，使得快速多步驟沈積與擴展的過程窗口。這為用戶提供了應用多種材料和工藝技術構建復雜集成電路的靈活性。NOVELLUS Speed Reactor旨在利用CVD技術的最新進展，提供高效可靠的沈積工藝。它包含單級、高速磁控管增強型等離子體源。該源利用變頻和高峰值功率以及射頻匹配功能來確保受控塗層工藝。NOVELLUS Speed Reactor能夠在Speed中同時沈積高濃度和低濃度的材料,同時在整個晶圓表面提供均勻性。為了提高沈積均勻性，NOVELLUS Speed反應堆安裝了雙級基板加熱器。該加熱器與磁控管串聯工作，在整個反應堆腔室內保持一個均勻的溫度。第一級加熱器將基板加熱至所需沈積溫度，而第二級加熱器則根據需要調節溫度。為提高工藝穩定性，Speed Reactor配備了獨特的多區工藝控制系統。該系統根據需要自動調整反應物和其他工藝參數的水平，以前所未有的方式優化工藝。將多區域流程控制系統與高級診斷程序結合起來,可以在不中斷處理的情況下即時進行調整。NOVELLUS Speed Reactor還包括先進的反應物輸送系統，能夠以受控濃度對各種材料進行高速率沈積。這些輸送系統旨在以可重復的方式快速提供精確的反應物濃度。此外，交付系統還配備了自動化的順序反應物交付，允許在單個工具中進行多步驟處理。速度反應器是半導體器件制造的理想工具.它提供了NOVELLUS Speed,並且靈活地需要快速構建極其復雜的集成電路,並具有卓越的可重復性和統一性。Speed Reactor憑借其創新的設計和先進的技術，是尋求可靠高效的CVD沈積工藝的人們的最佳選擇。