二手 NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880 待售

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA是一種高度先進、創新的並行工藝沈積系統,具有先進的工藝技術,可在各種不同的晶圓類型上提供高速率和優異的保形性。該單元利用一個平臺內的三個並行、獨立和集成的有限處理室提供卓越的工藝能力、質量和可重復性。CONCEPT 2 INOVA利用物理氣相沈積（PVD）、化學氣相沈積（CVD）和低壓化學氣相沈積（LPCVD）工藝的最新發展。三個燃燒室中的每一個都獨立於其他燃燒室，同時仍對反應堆的整體性能作出貢獻。每個腔室都配有自己的微波源，允許在每個晶片上沈積獨立和優化的層。NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVA提供了控制技術的重大改進,允許對沈積環境進行精確控制。該工具采用了最先進的自動化功能,為用戶提供了完全集成和自動化。自動化的機器操作提高了吞吐量並降低了成本,同時提供了預期的可靠且可重復的過程結果。CONCEPT 2 INOVA利用幾項先進技術提高了效率和吞吐量。這些技術包括高效的雙預室配置,允許優化氣體流動。磁性快門技術提供了對氣雲的精確控制，並為高分辨率表面提供了精確的氣束控制。NOVELLUS ASSET CONCEPT 2 INOVA也有一個高精度的電弧射流室，允許高分辨率結構的精確控制沈積。CONCEPT 2 INOVA是一個多功能工藝平臺，能夠同時進行氧化物、氮化物、金屬、CMP工藝等工藝。它還提供多種沈積選項，如亞自動取款機、超低壓和高壓操作模式。該模型具有根據任何特定客戶或應用程序要求進行配置的靈活性。除了提供卓越的流程和集成功能外,NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA還提供了一套廣泛的診斷工具,讓操作員全面了解流程。對所有操作和參數的內置監控使操作員能夠比以往任何時候都更早地檢測過程中的波動和異常。此外，內置的過程控制系統可確保可重復的過程結果以及加工結果的準確性和穩定性。CONCEPT 2 INOVA提供了一整套功能,使其成為任何現代先進工藝制造環境的理想解決方案。憑借強大可靠的性能,NOVELLUS Unit CONCEPT 2 INOVA提供了經濟實惠、用途廣泛且可靠的解決方案,以滿足任何現代沈積工藝的需求。