二手 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #293665785 待售

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200是一種高溫化學氣相沈積（CVD）反應器，為最大的靈活性和過程控制而設計。這種先進的反應堆設備能夠在各種基材上沈積具有均勻性、高均勻性、質量最高的精細工程膜。LEYBOLD KAI 1200適用於要求在200Å至400Å範圍內均勻沈積的應用。OERLIKON KAI 1200基於低溫冷壁室設計，將汙染降至最低，並允許超快冷卻時間。該系統的特點是反應門設計優化，反應通量無限可調，溫度範圍為-50C°至1600°C。電源單元配備了多種電源，包括直流、脈沖直流、射頻電源，允許對熱過程進行精確控制。KAI 1200的先進結構設計使得在大基板區域上可以均勻沈積薄膜。一個自動基板交換功能，搭配極短的冷卻時間，使得在不同基板之間快速可靠地切換成為可能。該機還設計了一個獨立的排氣工具和氣體流量控制每個工藝室，確保清潔和最佳的工藝環境。OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200設計方便用戶且易於操作。它包括一個全面的顯示資產與觸摸面板，通過圖形用戶界面（GUI）操作。此外,它還具有廣泛的安全功能,從真空損耗檢測到過壓保護。此外，該模型可通過計算機化控制進行編程，允許可重復的過程參數和性能。總之，LEYBOLD KAI 1200是一種先進的高溫CVD反應器，設計用於最大程度的工藝控制和均勻的薄膜沈積。其低溫冷壁室設計、優化反應閘門設計、溫度範圍、綜合顯示設備，使工藝效率最高。該系統還包括一系列安全特性、可編程控制，以及一個便於基板加工的自動基板交換功能。