二手 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #9300286 待售

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200是設計用於研發以及商業和工業應用的熱堆。該設備有兩個組件：介電射頻發生器和氣體輸送系統。介電射頻發生器用於感應用於制造高能等離子體材料的高頻電磁場，允許對工藝參數進行精確控制。它具有精確的頻率和參數控制、高效率和溫度均勻性。氣體輸送裝置旨在向反應堆提供有效的受控反應物氣體供應。它利用一個多級組合調節閥和調節器運行關閉一個常見的機電控制單元。這允許在廣泛的壓力和流量設置範圍內精確控制反應物氣體。該機還允許完全安全，內置超壓保護裝置和其他安全功能。LEYBOLD KAI 1200還設有一個清潔室，它使用過濾器在進入反應堆前清除反應物氣體中的顆粒，以提高性能。反應堆還配備了光學高溫計，用於評估射頻線圈表面的溫度。OERLIKON KAI 1200設計用於聚合物、氮化物、氧化物和金屬等材料的沈積、蝕刻和表面改性等應用。可用於多種不同的工藝配方，如等離子體蝕刻、金屬氮化、薄膜沈積等。該工具可在廣泛的工作壓力、溫度和沈積速率下使用，使其適合於許多不同的應用。KAI 1200是一種多功能、高性能、安全的反應資產,非常適合電子、航天、汽車和醫療等行業中需要精確材料加工的應用。