二手 OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #9409490 待售
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OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350是一種垂直軸反應器，設計用於基板表面沈積和薄膜沈積。Univex 350是專門為物理氣相沈積（PVD）工藝步驟而設計的擴散批次型反應器，如蒸發、濺射沈積等技術。反應堆有一個圓柱形的開放口袋系統，允許快速交換基板和靈活的幾何形狀。這使得它可以適應諸如堆疊基板、狹縫或小基板片等困難的幾何形狀。反應堆由一個不銹鋼腔室、中間用作蒸發源的柚子、兩個用於壓力測量的石英窗以及兩個用於泵送、裝載、卸載和氣體輸入的端口組成。腔室由連接到可編程邏輯控制器（PLC）的兩個獨立的PID控制器控制。OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350的組件是可編程的,可從PLC獲得溫度、壓力和其他過程控制反饋。它還有一個自動節氣門，可以在過程中穩定地保持真空。此外，Univex 350還包括針對強汙染、機械損壞或氣體泄漏等潛在問題的綜合檢查和安全系統。這些安全系統確保反應堆既可以自動操作，也可以手動操作。此外，它的自我診斷程序允許用戶檢查閥門操作和監控系統參數。OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350是一個可靠的反應器，允許各種材料的薄膜容易快速的沈積。其高效的設計和操作靈活性支持其性能,使其非常適合工業和研究用途。
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