二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus-S #293604358 待售

ID: 293604358
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus-S是為各種研究應用而設計的性能先進的多功能等離子體反應堆。它配備了雙視圖氣體噴射系統,以支持涉及等離子體加工、沈積、蝕刻和清潔的廣泛實驗。該設備裝有一個圓柱形腔室,該腔室設計用於容納從平板到微芯片的許多加工基板。前沿腔室經過優化設計,能夠在流線和渦流的作用下實現最佳的氣體分布,從而確保基板上精確的工藝均勻性。它還具有獨立的靜電中心,以進一步保證位置精度.Plasmalab 80 Plus-S能夠同時執行電感和電容耦合等離子體過程,使其成為一系列實驗的理想選擇。該裝置的其他特點包括用於等離子體電位原位監測的創新靜電電荷計,以及用於精確光譜分析的高分辨率光譜儀。該裝置配有先進的計算機控制系統,允許控制等離子體實驗的所有參數,集成數據采集和分析。此外,等離子體反應堆還提供各種通信接口,包括以太網和GPIB,以確保與現代系統的平穩集成。OXFORD Plasmalab 80 Plus-S設計精湛,為用戶提供高水平的等離子體控制,提供工藝優化和精確的光譜測量。憑借其多功能和人體工程學設計,這種等離子體反應堆是一系列研究任務的絕佳選擇。
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