二手 PICOSUN P300 #293628601 待售

PICOSUN P300是一種先進的反應性離子蝕刻反應器，設計用於深亞微米加工應用。對於包括場效應晶體管、集成電路和MEMS在內的半導體器件的制造尤其有用。P300基於在PICOSUN工業級RIE系統中使用的相同技術，從而確保了高質量的性能、可靠的運行和優異的工藝重復性。該反應器基於帶齒輪驅動腔的等離子體源，即使在具有挑戰性的蝕刻應用中也能實現出色的工藝均勻性和可重復性。PICOSUN P 300具有多通道氣體噴射設備，具有氣體混合、冒泡和脈沖噴射能力。它還擁有同類RIE系統中最大的標準腔室尺寸之一，尺寸可達500 x 400 x 200毫米。P300的自動化渦輪抽油機保證了工藝室性能的不妥協，允許極低的底壓和快速調節。對於通用的過程控制,PICOSUN P 300機器包括一個復雜的CAD工作站和直觀的軟件。CAD工作站允許用戶繪制蝕刻配方並快速執行過程調整。第三方軟件可輕松集成，擴展控制選項，反應堆人性化的觸摸面板簡化操作，提供所有上下遊工藝步驟的完整可追蹤性。P300非常適合制造3D和2.5D結構。它具有最先進的電子回旋共振（ECR）和感應耦合等離子體（ICP）源,使用戶能夠精確控制蝕刻深度和選擇性。電介質層和金屬層的高能等離子體處理可以通過增加一個額外的N2或O2源來實現，有效地將工具的能力提高一倍。PICOSUN P 300堅固的結構和專利設計確保了卓越的性能和可靠準確的工藝。它具有卓越的冷卻功能,可確保一致和可重復的結果,其自動化的安全功能可保護用戶和工藝室免受潛在損壞或故障的影響。此外，PICOSUN還提供維修和升級等售後服務，允許用戶保持系統的最新狀態，而無需完全更換資產。這樣可以確保用戶始終以最新的技術進步運行,從而實現最高效的處理解決方案。總體而言,P300是任何亞微米蝕刻應用的理想選擇。其先進的自動化特性和革命性的技術保證了卓越的性能、過程的統一性和可重復性,而其強大的構造和可定制的軟件使其成為半導體行業專業人士的理想選擇。