二手 PICOSUN R-200 #293628600 待售

PICOSUN R-200是一種緊湊、高性能的緊湊型大氣壓力等離子體（APP）反應堆設備，設計用於研究和中小型生產應用。該系統采用最大200W輸出的單一大功率射頻源、不銹鋼腔室、壓力腔室和完全可調節的工藝參數。PICOSUN R 200提供卓越的性能和對溫度、氣流和壓力的精確控制。R-200利用獲得專利的冷氣壓等離子體技術，能夠在其整個腔室體積內產生高度均勻的等離子體，從而能夠沈積和蝕刻晶片和其他具有精確均勻的基板。R 200是生產光電和微電動力（MOEMS）結構，以及各種材料的精確幹燥、蝕刻和沈積的理想解決方案。PICOSUN R-200以其可調的工藝參數，也非常適合聚合物和塗層的精密固化。PICOSUN R 200提供先進的流程監控能力。用戶界面（UI）提供流程可視化和對流量、壓力和工藝溫度的獨立控制。此外，R-200還設有一個綜合數據分析和報告單元，用戶可以實時監視和查看流程，並相應調整流程參數。R 200提供了自動化的晶片裝卸機，使用戶能夠在最小的停機時間內快速準確地裝卸晶片。PICOSUN R-200還提供板載和外部晶圓對準能力，以確保每次都有精確的結果。PICOSUN R 200是一種高效可靠的工具,旨在以可承受的成本提供高性能結果。R-200具有卓越的工藝控制和精確的均勻性，是各種材料精密加工的理想選擇。